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2009年3月8日〜11日〈終了いたしました。〉
名古屋大学、IB電子情報館
組織委員会委員長 堀 勝 (名古屋大学 プラズマナノ工学研究センター副センター長) |
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シンポジウムスコープ
| 本国際シンポジウムは、知的クラスター創成事業(東海広域ナノテクものづくりクラスター）の広域化プログラムの一環として、東海地域に世界の幅広い研究機関と連携する先進プラズマナノ科学国際拠点の形成を目指して開催します。本シンポジウムはプラズマ科学(プラズマ診断・モニタリング、スパッタリング、エッチング、薄膜形成、表面改質、シミュレーション)の分野、プラズマ応用(Si半導体、III族窒化物半導体やナノ材料のプロセシング)の分野に関する会議です。また、産官学連携における技術移転を議論するパネルディスカッション(実用化、仕組み作り、マネージメント、人材育成)も企画しており、先進プラズマ科学の成果が学にとどまることなく、幅広く産業界に展開できる仕組みを当地域に構築することも目指します。 |
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